特長
高度な異物除去性能
クーロン力を利用した独自の機構で高度な除去性能を発揮するとともに、表裏面の異物の同時除去できる
長時間の異物除去能力安定性
回収機構搭載による独自の異物回収法と除去能力の長時間保持
トータルコストを大幅に低減
メンテナンス回数の低減によるランニングコストの削減
除塵有効幅及び装置サイズ
実績
■適用製品
1. グリーンシート
2. パッケージ基板
3. セラミック基板
4. 二次電池 etc.
■対象異物
1. セラミックカス
2. 繊維状異物
3. 樹脂片
4. 皮脂
5. メタル粉
除塵のメカニズム
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