特長
・ナノ～オングストロームレベルの平坦化を実現
・TOPX D（ダイヤモンド）、TOPX A（アルミナ）、TOPX S（シリカ）として各種砥粒のフイルム、テープをラインナップ
・バインダー設計、高度な粒子分散、精密コーティング技術により研磨面の表面構造を制御
・独自の表面・界面制御による自生作用により長寿命かつ高研削化を実現
ラインアップ
1.TOPX D Diamond
■TOPX D902
Diamond Film 9um
研削力は一段高く、表面粗度は同程度の維持が期待できます。
■TOPX D150
Diamond Film 1um
研磨後の表面粗度は1ランクUPし、
次工程の仕上げ工程に研磨時間短縮等に寄与が期待できます。
2.TOPX S Silica Film
3.TOPX A Alumina Film
1.高い研削能力と研削後端面の平滑性に優れます。
2.パーティクルが非常に少ない製品です。
3.研磨砥粒のテープ密着性が良好です。