特長
・ナノ~オングストロームレベルの平坦化を実現
・TOPX D(ダイヤモンド)、TOPX A(アルミナ)、TOPX S(シリカ)として各種砥粒のフイルム、テープをラインナップ
・バインダー設計、高度な粒子分散、精密コーティング技術により研磨面の表面構造を制御
・独自の表面・界面制御による自生作用により長寿命かつ高研削化を実現
ラインアップ
1.TOPX D Diamond
![](/cms-assets/TOPX%20D%20Diamond.jpg)
![](/cms-assets/6ec4a346bc9c6aa83eb21902df9b617c67fedbcf.png)
■TOPX D902
Diamond Film 9um
研削力は一段高く、表面粗度は同程度の維持が期待できます。
![](/cms-assets/b14fb990dfd3b40ee4c43f24e34a9aa21edf875a.jpg)
■TOPX D150
Diamond Film 1um
研磨後の表面粗度は1ランクUPし、
次工程の仕上げ工程に研磨時間短縮等に寄与が期待できます。
2.TOPX S Silica Film
![](/cms-assets/a12a1b67bb3e372f94c263a36b4aacc704019ee7.jpg)
![](/cms-assets/polish_01_img_06.jpg)
![](/cms-assets/246a78409b7ca8aecdb5e013c772756d1c2fc7c3.png)
![](/cms-assets/863e1a081e1b0abf5b094e5a5a5b4f46bc8bdec0.png)
3.TOPX A Alumina Film
![](/cms-assets/30be2da3d2570e60eaeae3a92f2b8d7e501620ee.png)
![](/cms-assets/c2a68a9008fa1dc2cee9b2ad660186accdc69616.png)
1.高い研削能力と研削後端面の平滑性に優れます。
2.パーティクルが非常に少ない製品です。
3.研磨砥粒のテープ密着性が良好です。