【動画】半導体製造装置の装置内ハンドリングの精度を向上
- #小型化・軽量化(省スペース)
- #高速化
- #高精度化
- #半導体・電子部品製造装置
- #軽搬送用ベルト
半導体製造装置内のハンドリング装置に使われる歯付ベルトと長尺歯付ベルト(バンコラン®ロングシンクロベルト/LSB-U)の用途事例です。
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